ASML 在德国柏林的一家工厂于 1 月 2 日发生火灾，据市调机构集邦咨询（TrendForce）初步调查结果显示，占地 32,000 平方米的厂区中，约 200 平方米厂区受火灾影响，该厂区主要制造光刻机中所需的光学相关零组件。
集邦咨询指出，目前该厂零组件以供应 EUV 机台较多，且以晶圆代工的需求占多数。若届时因火灾而造成零组件交期有所延后，不排除 ASML 将优先分配主要的产出支持晶圆代工订单的可能性。
此前 ASML 发文称，目前就损害或是否会影响其生产计划发表声明还为时过早，公司计划花几天时间进行调查并做出全面评估。